C-SAM Gen7

C-SAM Gen7は超音波顕微鏡C-SAMのハイエンド機種です。世界最高峰の精度と高精細な画像でサンプル内部に介在する
微小な欠陥（ボイドや剥離、クラック等）を検出することができます。
特に反りに追従して計測できるQDZ機能を搭載可能で、
大型ウエハー等の計測に最適です。

• Sonolytics 2：新オペレーション・インターフェイス
• PolyGate ：異なる複数の深さを同時にスキャン可能。最大100ゲートの計測が可能。
• QDZ：反ったサンプルの表面形状に合わせてトランスデューサーを上下に追従させながらスキャンすることが可能。
• FDI：超音波の反射波をFFT解析することで、他の計測モードで見えなかった不良個所を画像化することが可能。
• 内蔵式温水循環システム、内蔵式脱気（気泡除去）システム搭載（※オプション）

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