emmi

超高感度エミッション・マイクロスコープ

エミッション・マイクロスコープは、微弱リークのような故障位置を正確に特定でき、半導体デバイスの信頼性向上に大きく貢献します。emmiシリーズは、リーク、ESD破壊、ホットキャリア、ラッチアップ、酸化膜不良等の半導体デバイス内で起こるさまざまな不良によって生じる極微弱発光を検出し、その位置を正確に特定することができます。

• 回路上の欠陥位置からの極微弱な発光（フォトンの放出）を検出できるため、「低電圧/低電流」で不良を検出することができます（100pA/μm2以下の検出感度；GEN IVカメラ使用時）
• メインカメラ（検出素子）の選択により「超高感度」「裏面解析」などさまざまな解析手法に対応することができます。
• テスターとのダイレクトドッキングによる計測も可能です。