AW300

全自動ウエハー検査用 超音波顕微鏡

AW300は、貼り合わせウエハーの接合部の検査に特化した全自動ウエハー検査用超音波顕微鏡です。 純水を使用した「非水没式」計測システムを採用し、コンタミ・フリーでの計測が可能です。
MEMSのシール部分の不良解析にも対応できます。

  • 非水没式「Water Fall」計測システム
  • ウエハー・アライナー搭載
  • ウエハードライヤー搭載
  • 最大12インチウエハー対応
  • デュアル・スキャナー搭載
  • 300mmFOUPロードポート、FSOBキャリアー対応
  • クリーンルーム対応

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