高精度超音波顕微鏡 C-SAM

Sonoscan社

超音波顕微鏡の分野において、世界トップシェアを誇るSonoscan社。
世界中の主な半導体メーカーや自動車メーカー等において、Sonoscan社の超音波顕微鏡はスタンダード機として使用されています。
インライン機から研究開発用のハイエンド機種まで幅広いラインナップにより、次世代半導体や電子デバイス、パワーデバイスの実装技術の評価に威力を発揮します。
メーカーHP

概要

超音波顕微鏡C-SAMは、半導体パッケージや電子デバイス内部に介在する物理的欠陥を非破壊で観察することができます。
サンプルに対して発信された超音波の反射をとらえ、サンプル内部の任意の深さの状態を画像化することで、接合界面の剥離や封止材内部のボイド、クラックなどの不良箇所を非破壊で測定することができます。
(※超音波顕微鏡は日本国内ではSATという名称で呼ばれることもあります。)

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